Журнал передовой химической инженерии

Абстрактный

Влияние мощности падающего лазера FS на тонкие пленки золота, нанесенные с помощью технологий PLD

Этви Т., Хедр М.А., Фати Н. и Бадр Ю.

Золотые тонкие пленки с различной падающей мощностью фемтосекундного лазера были разработаны с помощью импульсной лазерной наплавки (PLD) для оценки влияния падающего фемтосекундного лазерного импульса на формирование и однородность осажденных тонких пленок. Лазерные импульсы, которые использовались для этого исследования, имели длину волны 800 нм, длительность импульса 20 фемтосекунд и частоту повторения 1 кГц. Данные о тонких пленках были получены при падающей мощности фемтосекундного лазера 400, 500, 600 и 750 мВт, давлении 0,3 м Торр и расстоянии целевой подложки 6,5 см. Использовалась стеклянная подложка, поддерживаемая при температуре 200 °C во время осаждения. Осажденные тонкие пленки Au были охарактеризованы с помощью атомно-силовой микроскопии (AFM), сканирующей электронной микроскопии (SEM) и энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (EDX). Экспериментальные данные показывают хорошо сформированные золотые пленки с развитием формы и размера частиц, которые увеличиваются с увеличением среднего значения падающего фемтосекундного лазерного импульса. Результаты также показывают, что при мощности фемтосекундного лазера 400 мВт практическая плотность увеличивается до 60 частиц мкм ² (количество частиц в мкм ² ) и фиксируется при мощности лазера 500 и 600 мВт, тогда как при мощности лазера 750 мВт она уменьшается.